20世纪60年代以后,CVD法不仅应用于宇航工业的特殊复合材料、原子反应堆材料、刀具、耐热耐腐蚀涂层等领域,还被应用于半导体工业领域,虽然比较晚,但今天作为大规模集成电路技术及铁电材料、绝缘材料、磁性材料的薄膜制备技术,都是*的。CVD法制备薄膜材料是近年来半导体、大规模集成电路应用较成功的一种工艺方法,主要用于硅、砷化镓材料的外延生长、金属薄膜材料、表面绝缘层、硬化层等,用于一些如氧化物、碳化物、金刚石和类金刚石等功能薄膜和超硬薄膜的沉积,也用于粉末、块状材料、纤维等的合成,并成为电子、机械等许多工业领域重要的材料合成方法。
今天一早·亚太娱乐·的添时售后工程师,就前往学校帮老师安装调试CVD系统。
安装调试非常顺利
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